תנור צינור CVD עם שלושה אזורי חימום - תנור צינור ואקום מסוג OTF-1200X-S אזור טמפרטורה יחיד עם מבנה דו-שכבתי מקורר אוויר. - טמפרטורת פני השטח של גוף התנור נשמרת מתחת ל-60℃. - תנור הצינור עם מערכת שאיבה עשוי מסיבי אלומינה מיקרו-גבישיים בעלי טוהר גבוה באמצעות ספיחת ואקום בטמפרטורה גבוהה. - הוספת תוכנית תיל התנגדות לחימום מיובא מאריך את חיי השירות של גוף תנור הצינור בטמפרטורה גבוהה.
אימייל יותר